根据安徽省科技厅2020年7月20日发布的《关于组织申报2020年省科技重大专项项目的通知》，我院认真对照文件要求，凝练了“原子尺度精确调控磁控溅射设备”项目进行申报。该项目于近日成功获批，项目工作如期启动、有序开展。
本次获批省科技重大专项支持，是研究院继获批省重点研发计划、省工程实验室之后在科研工作方面取得的新突破。下一步研究院将认真对照项目任务目标要求，扎实做好各项工作，在确保项目顺利结题的同时积极推动有关科技成果转化和应用落地，努力为安徽省、合肥市集成电路科技创新和产业发展贡献力量。
“原子尺度精确调控磁控溅射设备”项目简介
项目实施主体为研究院微纳科学与技术研究中心，实施周期三年，总预算600万元。主要为解决磁控溅射关键设备尤其是高精度薄膜沉积设备的国内制造装备的薄弱环节，拟设计研发一套原子尺度精确调控磁控溅射设备，面向新型磁存储器的薄膜尤其是磁隧道结（MTJ）的生长和精确控制等问题开展相关研究。相关成果可广泛应用于半导体产业、集成电路制造和先进显示器产业，同时有望推动我国薄膜生长相关精密制造仪器的自主研制和产业发展。
