项目名称：直写光刻机采购
项目编号：191023wn01
项目用途：科研
采购人名称：北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
采购人地址：安徽省合肥市新站高新区前江路南50米智慧产业园北航国家大学科技园A6楼
采购人联系方式：许老师0551-69110211
采购公告日期：2019年10月23日
成交确定日期：2019年11月6日
成交供应商名称：苏州苏大维格科技集团股份有限公司
成交金额：740000元人民币
合同履行日期：签订合同后4-6个月内交货，根据工作进度表，供方完成全部货物的生产、运输、安装、调试、摆放、保洁等工作。
主要成交产品名称
序号 |
设备名称 |
参数 |
数量 |
1 |
直写光刻机 |
最小特征结构可小于1微米 定位分辨率＜1nm 微结构高深宽比优于10:1 |
1 |
竞争性谈判小组成员名单：洪宾、许涌、刘善伟、侯恩情
成交公告期限：自发布之日起3个日历日。
备注：感谢各响应供应商对本项目的支持。
北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
2019年11月12日
