系统由电极蒸镀腔、电极蒸发源、真空系统、压力传感系统和水冷循环系统组成。 ※1.电极蒸镀腔：为多源蒸发镀膜，采用立式方形前开门结构，可实现室温-300℃的加热；净尺寸不小于:L400mm×W440mm×H450mm；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试、使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠； ※2.旋转基台大小：120 mm×120 mm；抽屉式结构，配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调； ※3.电极蒸发源：4-6组电极蒸发源；其中水冷铜电极4组；逆变式蒸发电源:功率 3kW，2台；1台电源可切换2组蒸发源。另外控温有机蒸发源2组（最高温度600°）；角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：2套（独立PID智能温控蒸发）。 ※4.控制方式：PLC/PC自动控制系统可选；电控柜位于手套箱底部，操作屏置于手套箱上； ※5.极限真空度：≤1×10-5 Pa；真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统；分子泵：抽速不小于700 L/S，机械泵：抽速不小于9L/S； ※6.系统镀膜均匀率：≤±5.0%； ※7. 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到1×10-4 Pa；设备升压率≤0.8Pa/h; ※8.停泵关机12小时后真空度：≤1 Pa ※9.气动挡板及源间防污隔板6套 ※10.报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 ※11.压力传感系统：膜厚监控仪1台，晶振探头1支，原装晶振片1盒。 主要技术指标： （1）厚度范围： 0-99μ9999Å （2）厚度显示分辨率： 1Å （3）速率范围： 0-999.9Å （4）速率显示分辨率：0.6Å （5）膜厚分辩率：0.15Å ※12.水冷循环系统：功率不小于2P，制冷量不小于5.3kW，1台； ※13.空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m³)，噪音: ≤68dB，1台； ※14.标准洁净环境制备系统： （1）、1个304不锈钢的箱体，耐酸，厚度3 mm，每个箱体内部尺寸：长度≥1800mm；深度≥750mm；高度≥900mm，左侧工位背后预留连接镀膜机接口；水氧指标小于1ppm; （2）、1个大过渡舱，直径≤360mm，长度≥600mm，右侧 （3）、2个小过渡舱，直径≤150mm，长度≥300mm，左右两侧 （4）、1个带4个手套口的前窗，手套口采用硬铝合金。 （5）、2副丁基橡胶手套 （6）、1套照明系统 （7）、1个箱内电源接口 （8）、5个KF40备用接口 （9）1台高性能的循环风机≥90m3/h，可变频，自动启停 （10）1台真空泵，流量≥12 m3/h，极限真空度≤2x10-1pa 带油雾过滤器和气振，系统需要真空时启动，平时处在休眠状态，节能降噪设计; （11）、1套水分析仪，0~500ppm, 固体铂电极式探头，应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，避免了一次污染即报废的问题。 （12）、1套氧分析仪,固体氧化锆式氧探头，非消耗式，暴露于高氧浓度气氛不会消耗探头寿命，测量精度范围：0～1000ppm； （13）、1套有机溶剂吸附器，内置箱体内，填充活性炭，可快速安全更换材料，并且不破坏箱体的高纯气氛 （14）、支架脚轮 （15）、脚踏开关 （16）、1个BNC接头 （17）、2个气体接头（带手动球阀）； （18）、1个集成阀座，减少泄露率，拒绝单独阀布局结构。 ※15.文档资料： ①设备操作、维护使用说明书1套； ②设备电气原理图1套； ③设备易损件清单1套； ④装箱单； ⑤设备出厂合格检验证明。 ※16.其他要求： ①整机质保不低于1年，代理商需提供原厂家售后服务承诺书； ②具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评； ③生产厂家需提供金属电极相关工艺参数，需现场演示制备。 |
