新闻公告

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蒸镀电极制备设备

北京泰科诺ZHDS400

设备由电极蒸镀腔、电极蒸发源、真空系统、压力传感系统和水冷循环系统组成。

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个

1、镀膜室尺寸：L400mm×W440mm×H450mm；样品可实现室温-300℃的加热；腔室采用SUS304不锈钢制作，方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；后门为侧开门，便于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试和使用，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；

2、抽屉式结构，承载最大尺寸小于120×120mm基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0～20转/分钟可调；

自动升降，升降基片台可调节范围70mm；

3、①金属源：水冷铜电极4组；

逆变式蒸发电源：功率3000W；2台（1台电源可切换2组蒸发源）；

②有机源：控温有机蒸发源（最高温度600°），2组；

有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率，均匀性好），蒸发速率可控；

有机控温蒸发电源：2套（独立PID智能温控蒸发）；

③蒸发源配气动挡板及源间防污隔板；

4、电气控制系统：采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；一体机架，电控柜位于手套箱底部，操作屏置于机架上；

5、极限真空：优于1.0×10^-5Pa；(设备和手套箱连接，设备空载抽真空24小时)

真空系统：复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统，复合分子泵：FF-160/700，抽速700 L/S，水平安装；机械泵：TRP-36，抽速9L/S。

6、膜厚不均匀性：直径100mm范围内≤±5.0%；

7、抽速：系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，从大气抽至1.0×10^-4Pa≤40min；设备升压率：≤0.8Pa/h；

8、停泵关机12小时后真空度：≤1 Pa；

9、配气动挡板6套，源间防污隔板1套；

10、报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。

11、配进口SQM-160膜厚监控仪：1台，晶振探头：1支，原装晶振片：1盒。

主要技术指标：

（1）厚度范围： 0-99μ9999Å

（2）厚度显示分辨率： 1Å

（3）速率范围： 0-999.9Å

（4）速率显示分辨率：0.6Å

（5）膜厚分辩率：0.15Å

12、配2P冷却循环水机，制冷量5.3kW，1台；

13、配空气压缩机：排气量≥90L/min，储气罐容积≥38L(0.038 m³)，噪音: ≤68dB，1台；

14、标准洁净环境制备系统：

（1）、1个304不锈钢的箱体，耐酸，厚度3 mm，每个箱体内部尺寸：长度1800mm；深度750mm；高度900mm，左侧工位背后预留连接镀膜机接口；水氧指标小于1ppm;

（2）、1个大过渡舱，直径360mm，长度600mm，右侧

（3）、2个小过渡舱，直径150mm，长度300mm，左右两侧

（4）、1个带4个手套口的前窗，手套口采用硬铝合金。

（5）、2副丁基橡胶手套

（6）、1套照明系统

（7）、1个箱内电源接口

（8）、5个KF40备用接口

（9）1台高性能的循环风机90m³/h，可变频，自动启停

（10）1台真空泵，流量12 m³/h，极限真空度≤2x10^-1pa

带油雾过滤器和气振，系统需要真空时启动，平时处在休眠状态，节能降噪设计;

（11）、1套水分析仪，0~500ppm, 固体铂电极式探头，应用范围广，尤其对于锂电制造及金属有机等用户，可以通过清洗再生程序恢复初始状态，避免了一次污染即报废的问题。

（12）、1套氧分析仪,固体氧化锆式氧探头，非消耗式，暴露于高氧浓度气氛不会消耗探头寿命，测量精度范围：0～1000ppm；

（13）、1套有机溶剂吸附器，内置箱体内，填充活性炭，可快速安全更换材料，并且不破坏箱体的高纯气氛

（14）、支架脚轮

（15）、脚踏开关

（16）、1个BNC接头

（17）、2个气体接头（带手动球阀）；

（18）、1个集成阀座，减少泄露率，拒绝单独阀布局结构。

15、随设备附带的文档资料：

①设备操作、维护使用说明书1套；

②设备电气原理图1套；

③设备易损件清单1套；

④装箱单；

⑤设备出厂合格检验证明。

16、其他要求：

1、整机质保1年，我公司已提供原厂家售后服务承诺书；

2、提供具有完善的售后服务体系保障及用户服务好评证明；

3、因本次招标设备属定制产品，且体积较大，我公司承诺中标后向采购人提供金属电极相关工艺参数、并现场演示制备。