项目名称:超高真空阴极采购
项目编号:210713wn05
项目用途:科研
采购人名称:北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
采购人地址:安徽省合肥市新站高新区前江路南50米智慧产业园北航国家大学科技园A6楼
采购人联系方式:毛老师0551-69110022
采购公告日期:2021年7月13日
成交确定日期:2021年8月5日
成交供应商名称:北京时代天启真空科技有限公司
成交金额:95600元人民币
主要成交产品名称
序号 |
名称 |
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规格参数 |
数量 |
单位 |
1 |
超高真空阴极 |
ANGSTROM ONYX-2 STD UHV&HT |
1、2英寸圆形磁控溅射阴极,真空度优于10-10mbar; 2、满足超高真空和耐高温性能,耐温可达300℃; 3、磁铁采用优化NdFeB磁场和削尖式磁铁设计; 4、阴极采用耐高温材料,磁铁不用抽出,耐温300℃; 5、靶材尺寸2英寸,最厚可以放置6mm厚的靶材,厚度向下兼容,靶材固定采用压环方式,靶头处配有烟囱屏蔽罩,避免其他靶枪带来的污染; 6、靶头高度59.7mm,不包括烟囱的高度; 7、靶头外径75mm; 8、阴极总长度651.9mm; 9、阳极为整块不锈钢一次性加工成形,非焊接而成; 10、气动挡板; 11、卡环式靶面匀气环; 12、工作距离调节伸缩机构,带手动摇柄,调节距离0-152.4mm; 13、安装法兰CF100; 14、提供磁性材料和氧化物体系(CoFeB/MgO)生长测试报告。 15、提供的阴极保修期为验收合格后12个月,并负责提供全程的安装、调试、指导、检漏等服务。 |
1 |
个 |
询价小组成员名单:唐培智、韩丽、程厚义、汪建
成交公告期限:自发布之日起3个日历日。
备注:感谢各响应供应商对本项目的支持。
北航合肥创新研究院微纳科学与技术研究中心
2021年8月6日