北京航空航天大学合肥创新研究院依据《北京航空航天大学合肥创新研究院科技成果转移转化管理办法（试行）》规定，拟将“一种超薄多层膜的集成式加工设备及应用方法”等5项专利许可给合肥致真精密设备有限公司实施，现将相关信息公示如下：
专利名 |
专利权人 |
发明人 |
专利类型 |
专利状态 |
许可方式 |
许可期限 |
许可价格 |
一种超薄多层膜的集成式加工设备及应用方法（ZL202010812789.6） |
北京航空航天大学合肥创新研究院 |
赵巍胜；程厚义；艾梅尔；张学莹 |
发明 |
已授权 |
独占许可 |
5年 |
浮动。被许可方年营收＜1000万元，研究院收取当年度专利维护费； 被许可方年营收≥1000万元，研究院按被许可方年营收的3%收取专利许可使用费 |
一种高靶材利用率圆形平面磁控溅射阴极（202110872823.3） |
汪建；杜寅昌；李成；程厚义；赵巍胜；张悦 |
已申请 |
排他许可 |
一种兼容磁性靶材和非磁性靶材的磁控溅射阴极（202111108818.1） |
汪建；杜寅昌；李成；刘风光；吴鹏、赵巍胜 |
具有电感耦合放电清洗功能的样品台（202111170284.5） |
汪建；杜寅昌；李成；程厚义；赵巍胜 |
具有电感耦合放电清洗功能的快速进样装置（ZL202122707255.X） |
汪建；杜寅昌；李成；刘风光；赵巍胜 |
实用新型 |
已授权 |
公示期15个工作日，自2022年8月19日起至2022年9月9日止。如有异议，请于公示期内以书面形式实名反映。
联系人：张涛
联系电话：17718191851
北京航空航天大学合肥创新研究院
2022年8月19日
